高纯气体输送系统
高纯气体系统则是指对纯度在5N(99.999%)以上的气体的控制、输送、分配、管理的整个过程，
广泛应用于半导体生产、光电子技术、医疗器械、食品加工等领域
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EP管
EP管（超洁净管），过电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面具有细密富含氧化镉氧化膜的不锈钢管道，EP管是一种超洁净的不锈钢管道，采用316L(VIM+VAR)材料制成。在严格的工程品质管理下，经过电解抛光技术处理，保证产品内表面质量呈极纯净状态，达到超高纯气路使用要求。EP管的内表面粗糙度可控制在Ra0.1μm以下，自加工到包装均在超洁净环境下进行。这种管道具有优异的耐腐蚀性、耐高温性和机械性能，适用于各种极端环境下的使用。EP管在半导体、太阳能等高科技行业中得到了广泛应用，特别是在需要超高纯气体输送的场合中，EP管成为了不可或缺的材料。
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阀门箱（VMB）
阀门箱主要由工艺阀门盘面、PLC
控制系统(仅半自动控制系列)、机柜、安全附件四部
分组成。工艺阀门盘面可以调节气体的压力和控制各支路气体的通断；半自动系列配有PLC控制系统，可以通过按钮控制支路阀门开关；机柜为全密封设计，可以防止阀门箱内的有害气体扩散到外部环境中，起到防护作用；根据输送的气体特性，设备内部配置有火焰探测器、高温传感器等安全附件，当设备内出现异常或故障时设备发出报警信号或自动停气(仅半自助操作系列)，可以保证设备和环境的安全。产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED
行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于输送有毒，易燃可燃，腐蚀性，氧化性高纯气体。
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